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晶圓加熱臺(tái)

晶圓加熱臺(tái)

簡(jiǎn)要描述：● 對(duì)晶片、玻璃基板等極薄的工件進(jìn)行均勻加熱。
● 工件可以通過(guò)真空吸附固定。
● 可通過(guò)附帶的溫度調(diào)節(jié)器進(jìn)行精密溫度控制。晶圓加熱臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)： PH201K-06

所屬分類(lèi)：加熱設(shè)備

更新時(shí)間：2024-07-01

詳細(xì)說(shuō)明：

特點(diǎn)


● 對(duì)晶片、玻璃基板等極薄的工件進(jìn)行均勻加熱。
● 工件可以通過(guò)真空吸附固定。
● 可通過(guò)附帶的溫度調(diào)節(jié)器進(jìn)行精密溫度控制。

規(guī)格


● 板尺寸:Φ6英寸晶圓加熱臺(tái)  

● 表面處理:鍍金

● <熱卡盤(pán)部分>晶圓加熱臺(tái)  ● ▼可卡盤(pán)尺寸:Φ2~6英寸
● ▼溫度控制范圍:室溫~200°C
● ▼溫度精度:±1.5%
● ▼電容量:900 W
● ▼尺寸:200×234×54 mm
● ▼重量:約3 kg
● <溫度調(diào)節(jié)器>
● ▼電源:AC 100 V 50/60 Hz
● ▼尺寸:98×156×101 mm
● ▼重量:約1.3 kg
● ※另外需要真空泵 (推薦泵例:1 -9197-02隔膜型干式真空泵DAP -12 S) 。

EGOAN易購(gòu)安是一家LAB實(shí)驗(yàn)室儀器和MRO工業(yè)品領(lǐng)域的B2C電子商務(wù)公司。致力于為 研究人員、技術(shù)人員 提供高品質(zhì)實(shí)驗(yàn)室儀器與耗材、工業(yè)消費(fèi)品的采購(gòu)平臺(tái)。主要包括實(shí)驗(yàn)室儀器、實(shí)驗(yàn)室耗材、安全防護(hù)用品、檢測(cè)計(jì)量、生產(chǎn)加工工具、焊接器材、光學(xué)儀器、化學(xué)制品、物流保管、包裝材料等數(shù)千分類(lèi)及上百萬(wàn)種商品，幫助客戶實(shí)現(xiàn)MRO工業(yè)品和LAB實(shí)驗(yàn)室儀器“一站式采購(gòu)"。



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